电感耦合等离子原子发射光谱仪可用于分析样品中近百种元素的种类和含量，它通过高频电场产生高温等离子体（6000K-10000K），使样品迅速的原子化并产生光辐射，然后通过分光器和检测器记录原子发射光谱中谱线的波长和强度。本仪器的检测波长范围166-847 nm，涵盖全部金属元素和部分非金属元素，检测限一般为ppb级。